يحدد هذا الجزء من المواصفة ISO 21360 ثلاث طرق لقياس معدل التدفق الحجمي وطريقة واحدة لكل قياس ضغط قاعدي ونسبة الضغط والضغط الحرج الراجع لمضخة التفريغ. الطريقة الأولى لقياس معدل التدفق الحجمي (طريقة التدفق) وهي المفهوم الأساسي، حيث يتم حقن تدفق الغاز الثابت في المضخة بينما يتم قياس الضغط الداخل. أثناء التطبيق، قد يكون قياس تدفق الغاز معقد أو غير دقيق. لهذا السبب، تم تحديد طريقتين تتجنب القياس المباشر للتدفق. يتم استخدام الطريقة الثانية لقياس معدل التدفق الحجمي (طريقة الفوهة) عندما يكون هناك تدفق صغير جدًا عند ضغوط داخلة صغيرة جدًا (تحت التفريغ العالي أو الفائق). وترتكز هذه الطريقة على قياس نسبة الضغوط في قبة اختبار ثنائية الغرفة حيث يتم فصل الغرفتين بجدار ذا فوهة دائرية. الطريقة الثالثة لقياس معدل التدفق الحجمي (طريقة الضخ الإخلائي) وهي مناسبة تمامًا للقياس الآلي. وترتكز على إخلاء السفينة الكبيرة. يتم احتساب معدل التدفق الحجمي لاثنين من الضغوط، قبل وبعد فترة الضخ، ومن حجم اختبار القبة. تؤثر تأثيرات مختلفة، مثل التسرب ومعدلات الرشح وتبريد الغاز عن طريق تمدد ثابت الاعتلاج الحراري تقريبًا خلال فترة الضخ، وزيادة مقاومة التدفق في خط التوصيل بين قبة الاختبار والمضخة التي تنتج عن التدفق الجزيئي عند الضغوط المنخفضة، على نتائج قياس الضغط ومعدل التدفق الحجمي الناتج. يعتمد اختيار طرق القياس المطلوبة على خصائص أنواع معينة من مضخة التفريغ، على سبيل المثال قياس الضغط الحرج الراجع يكون ضروري فقط لمضخات التفريغ التي تحتاج إلى ضخ راجع. يتم قياس جميع بيانات مضخة التفريغ، ولكن ليست محددة في هذا الجزء من المواصفة ISO 21360 (على سبيل المثال قياس استهلاك القدرة)، ​​وتم تحديدها في مواصفات المضخة المحددة.