يحدد هذا الجزء من المواصفة ISO 8503 المجهر الضوئي ويصف إجراء معايرة المواصفات الدولية لمقارنة شكل الأسطح المطابقة لمتطلبات المواصفة ISO 8503-1. يطبق هذا الجزء من المواصفة ISO 8503 أيضًا على تقدير شكل الأسطح، ضمن نطاق hy = 20 ميكرومتر إلى 200 ميكرومتر، للصلب المسطح المنظف بالسفع في الأساس. يمكن أن يتم إجراء التقدير على القسم التمثيلي للسطح الذى يتم تنظيفه بالسفع، أو عندما تكون الملاحظة المباشرة للسطح ليست مجدية، على نسخة طبق الأصل من السطح (انظر الملحق ه). ملاحظة عند الاقتضاء، يمكن استخدام هذا الإجراء لتقييم مدى خشونة أسطح أخرى تم تنظيفها بالسفع الكاشط. تم وصف إجراء بديل في المواصفة ISO 8503-4.