يقدم هذا الجزء من المواصفة القياسية IEC 61967 إجراء اختباري يحدد طريقة تقييم لمكونات المجال الكهربائي أو المغناطيسي أو الكهرومغناطيسي عند سطح داراة تكاملية أو بالقرب منها. ويختص هذا الإجراء التشخيصي بالتحليل المعماري للدارة التكاملية؛ مثل تخطيط الطابق وتحسين توزيع الطاقة. ويسري استخدام هذا الإجراء الاختباري مع قياسات الداراة التكاملية المركبة على أي لوحة دارة يمكن الوصول إليها بواسطة مجس المسح. وفي بعض الحالات، يكون من المفيد عدم الاكتفاء بمسح الداراة التكاملية، بل إجراء مسح لبيئتها أيضًا. ولمقارنة انبعاثات مسح السطح بين دارات تكاملية مختلفة، يجب استخدام لوحة الاختبار القياسية المحددة في المواصفة القياسية IEC 61967-1. وتقدم طريقة القياس هذه مخطط للانبعاثات الكهربائية أو المغناطيسية القريبة من المجال فوق الدارة التكاملية. وتتوقف دقة القياس على قدرة مجس القياس ودقة نظام تحديد موضع المجس. وتخصص هذه الطريقة للاستخدام حتى 6 جيجا هرتز. ويمكن تمديد حد التردد الأقصى باستخدام تقنية المجس الحالية، ولكن هذا الأمر خارج نطاق هذه المواصفة القياسية. ويمكن إجراء عمليات القياس ضمن نطاق التردد أو المجال الزمني.