يسري هذا الجزء من المواصفة القياسية IEC 60748 على أنظمة اعتماد الجودة العالية للدارات المتكاملة المختلطة والهياكل الرقاقية. تهدف هذه الاختبارات إلى إجراء معاينة بصرية للمواد الداخلية، البنية والإتقان في الدارات متناهية الصغر المختلطة، متعددة الرقائق أو لوحدة متعددة الرقائق والعناصر الخاملة المستخدمة في التطبيقات الإلكترونية متناهية الصغر التي تشمل الترددات اللاسلكية/ الموجات متناهية الصغر. تخصص هذه الاختبارات لمستويين الجودة من الفئة H والفئة K وللموجات الصوتية السطحية SAW و الدارات متناهية الصغر الرقاقية المختلطة/ متعددة الرقائق/ لوحدة متعددة الرقائق باستخدام ركائز مثل السيراميك والسليكون. تسري الفئة K على جميع الدارات متناهية الصغر المقدمة لبرنامج مستوى تقييم المنتج 11 (مثل، تطبيقات الفضاء- انظر المواصفة القياسية IEC 60748-23-1). تسري الفئة H على كل الدارات متناهية الصغر الأخرى المقدمة لهذه المواصفة القياسية. يمكن معاينة الأنواع التالية من الدارات متناهية الصغر: (أ‌) الشبكات رفيعة الرقاقات وسميكة الرقاقات الخاملة؛ (ب‌) الدارات رفيعة الرقاقات وسميكة الرقاقات الفعالة؛ (ج) الدارات المتعددة التي تشمل اتحادات أو تجمعات أو غير ذلك من الروابط البينية الخاصة بالعنصرين 1(أ) و1(ب). عندما يكون للرقاقة الموضوعة مواصفات هندسية أكبر من 25 ميكرومتر، يسري معيار المعاينة المحدد في البند 5. إذا كانت المواصفات الموضوعة أصغر من ذلك (مثل، الدارات المتكاملة الموضوعة) ينبغي تطبيق متطلبات المعاينة الخاصة بالمواصفات القياسية IEC 60747. تستخدم هذه الاختبارات عادة على الأجهزة الإلكترونية متناهية الصغر قبل تغطيتها أو تغليفها لكشف واستبعاد الأجهزة المشتملة على مخالفات داخلية قد تؤدي إلى التعطل عند الاستخدام العادي. كما يمكن أيضا تطبيق هذه الاختبارات على أسس أخذ العينات لتحديد فاعلية مراقبة الصانع للجودة وإجراءات التداول.