تختص هذه المواصفة القياسية الدولية بطريقة تحليل الحيود الإلكتروني للمساحة المختارة (SAED) باستخدام المجهر الإلكتروني النافذ (TEM) لتحليل المناطق مقاسة الحجم الميكرومترية ودون الميكرومترية للعينات البلورية الرقيقة. ويمكن الحصول على هذه العينات على شكل مقاطع رقيقة من المواد المعدنية وغير المعدنية، بالإضافة إلى المساحيق الناعمة أو البديلة عن استخدام نُسخ الاستخراج المطابقة. ويعتمد أدنى قطر للمساحة المُختارة في العينات التي يمكن تحليلها باستخدام هذه الطريقة، على معامل الزيغ الكروي الخاص بالعدسات الشيئية للمجهر وتقترب من 0,5 ملم للمجهر الإلكتروني النافذ الجديد. وعندما يكون قطر مساحة العينة المحللة أصغر من 0,5 ملم، يمكن العودة إلى إجراءات التحليلات في المواصفة القياسية الدولية، لكن بسبب تأثير الزيغ الكروي، يمكن الحصول على بعض معلومات الحيود في شكل يمكن توليده خارج المنطقة المحددة من خلال أجهزة المساحة المختارة. وفي مثل هذه الحالات، كلما أمكن، قد يكون مفضلاً استخدام الحيود المجهري أو الحيود الإلكتروني الشعاعي المتقارب. يعتمد نجاح طريقة الحيود الإلكتروني للمساحة المُختارة على صحة الفهرسة لأنماط الحيود المنبثقة، بغض النظر عن أي محور في العينة يكمن بالتوازي مع الشعاع الإلكتروني الساقط. ولذلك يُساعد ميل العينات ومنشآت الدوران هذا التحليل. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية على اكتساب أنماط SAED من العينات البلورية وفهرسة الأنماط ومعايرة ثابت الحيود.