تختص هذه المواصفة القياسية الدولية بمتطلبات التقدير الكمي للعناصر في الحجم الميكرومتري للعينة المحددة عبر تحليل الأشعة السينية الناتجة عن الأشعة الإلكترونية باستخدام التحليل الطيفي للأشعة المتشتتة (WDS) الملائمة للتحليل الدقيق باستخدام المسبار الإلكتروني أو المجهر الإلكتروني الماسح (SEM). وتوضح ما يلي: - مبدأ التحليل الكمي، - التغطية العامة لهذا الأسلوب وفقًا لعناصر وكتلة وأجزاء العينات المرجعية، - المتطلبات العامة للأجهزة، - الإجراءات الرئيسة المتضمنة كإعداد العينات واختيار الظروف التجريبية والقياسات وتحليلات تلك الإجراءات والتقرير. وتهدف هذه المواصفة القياسية الدولية للتحليلات الكمية للعينات السائبة المتجانسة المسطحة باستخدام أشعة السقوط الطبيعية. ولا تختص المواصفة بالمتطلبات المفصلة للأجهزة أو برمجيات اختزال البيانات. ويجب أن يحصل المشغلون على المعلومات اللازمة كشروط التركيب والإجراءات المفصلة لتشغيل وتخصيص الأجهزة من مُصنعي المنتجات المستخدمة.