تحدد هذه المواصفة القياسية الدولية المصطلحات المستخدمة في تطبيقات التحليل الدقيق بالمسبار الإلكتروني (EPMA). وتشمل المواصفة كل من المفاهيم العامة والخاصة المصنفة وفقًا للتسلسل الخاص بهم بصورة منتظمة. وتسري هذه المواصفة القياسية الدولية على جميع الوثائق القياسية المتعلقة بتطبيقات EPMA. وإضافة إلى ذلك، تسري بعض الأجزاء الخاصة بهذه المواصفة القياسية الدولية على الوثائق المتعلقة بتطبيقات المجالات ذات الصلة (SEM و AEM و EDX وغيرها) لتعريف هذه المصطلحات الشائعة بالنسبة لهم.