تقدم هذه المواصفة القياسية الدولية إرشادات عامة حول تحديد المعايير التجريبية ذات الصلة بالشعاع الأساسي، ومطياف الطول الموجي، والعينة التي يجب وضعها في الاعتبار عند تنفيذ تحليل دقيق بالمجس الإلكتروني. كما تحدد هذه المواصفة إجراءات لتحديد تيار الحزمة، وكثافة التيار، وزمن الهمود، ودقة الطول الموجي، والخلفية، ومنطقة التحليل وعمقه وحجمه. تختص هذه المواصفة القياسية الدولية بتحليل عينة مصقولة جيدًا باستخدام سقوط حزمة عادي، ولا تعد المعايير الناتجة دالة إلا للظروف التجريبية الأخرى. لم يُجرى إعداد هذه المواصفة القياسية الدولية كي تُستخدم في تحليل الأشعة السينية الطيفي الانتشاري للطاقة.