ويوصي هذا الجزء من أيزو بإجراءات ومعدات لمعاينة المياه والبخار ومحطات المراجل منها أجهزة المعاينة لتوفير عينات للتحليل الفيزيائي والكيميائي والتي تمثل الجسم المائي الأساسي أو البخار التي تُؤخذ منه. وتسري إجراءات معاينة المياه على: - المياه الخام - ماء التعويض - ماء تغذية المرجل - الماء المتكثف - ماء المرجل - ماء التبريد وتغطي إجراءات معالجة البخار كل من بخار الماء المحمى أو بخار الماء المشبع. ولا يسري هذا الجزء من ISO 5667 على معالجة المياه وبخار الماء في محطات إنتاج الطاقة النووية. والشكل 2 و6 يعتبران مثالان لأجهزة المعاينة.