يصف هذا الجزء من المواصفة القياسية IEC 62047 المصطلحات والتعريفات والأكواد وطرق الاختبار التي يمكن أن تُستخدم في تقييم وتحديد المقننات الأساسية ومعاملات الخصائص لمفاتيح الأنظمة الكهرميكانيكية الدقيقة ذات التردد الراديوي RF MEMS. وتنطبق البيانات الواردة في هذه المواصفة القياسية أيضًا على لمفاتيح الأنظمة الكهرميكانيكية الدقيقة ذات التردد الراديوي RF MEMS ذات الهياكل والتماسات (تماسات التيار المستمر والتماسات السعوية) والتشكيلات (المتسلسلة والمتوازية) وشبكات الوصل والفصل (أحادية القطب، أحادية التحويل وأحادية القطب ثنائية التحويل وثنائية القطب ثنائية التحويل وما إلى ذلك) وآليات الحث المختلفة مثل الكهروستاتيكية والكهروحرارية والكهرومغناطيسية والكهرضغطية وما إلى ذلك. وتعد مفاتيح RF MEMS أجهزة واعدة في الهواتف النقالة المتطورة ذات أنظمة التشغيل ذات النطاق/ النمط المتعدد وأنظمة الرادار الذكية وأجهزة ونظم الترددات الراديوية قابلة التشكيل، وهواتف SDR (الراديوية العاملة برمجيًا) ومعدات الاختبار والأجهزة والنظم والأقمار الصناعية المقحونة وما إلى ذلك.